WV4

▶ 金属对金属密封， 在真空到高压范围内提供无泄漏服务 ▶ 内部容积小， 可完全吹扫流道 ▶ 全包裹阀座设计， 具有优越的抗膨胀和防污染能力 ▶ 镍钴合金膜片， 具有更高的耐久性和抗腐蚀性
▶ 标准的粗糙为R a 0 . 2 5μm（B A级） ， 或者电解抛光R a 0 . 1 3μm（E P级） 可选
▶ 氦气测试泄漏率＜1×1 0 - 9 s t d c m 3 / s
▶ 气动执行器可供选择
▶ 气动阀寿命可达3 0 0万次